潔淨等(děng)級(jí)
1963年,美國潔淨室(shì)標準FED-STD-209中,按每立方英(yīng)尺中≥0.5mm粉塵數(shù)量的(de)*允許(xǔ)濃度,將潔淨(jìng)室分成若幹等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都(dōu)加以效仿。
1999年,國際(jì)標準化組(zǔ)織ISO頒布了一項國際標準《ISO14644-1潔淨(jìng)室與受控潔淨環(huán)境》*部分:空氣(qì)潔淨(jìng)度分級。標準(zhǔn)中采用了新的分級。
2001年,中國新頒布的潔淨室設計標準中采用了ISO分級。
電子工業和製藥業是與潔淨室關係*密切的兩個行業。ISO標準一出現(xiàn),電子行業立刻改用ISO標準定義的潔淨室級別,而製藥業目前仍沿用老(lǎo)的潔淨級別規定。中國1998年(nián)版GMP規範中(zhōng)比前一版增加了個30萬級。


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