FFU空氣（qì）過濾器主要有以下幾點優點：
1.節約空間——利用FFU風機過濾單元可以有效的節省（shěng）空間，解決潔淨室吊頂頂端維修空間狹小（xiǎo）的問題。
由於（yú）高級別的潔淨廠房需要百級甚至十級層流罩來解決工藝（yì）需求，潔淨室的吊頂的上部將設立一個個巨大的送（sòng）風靜壓箱，靜壓箱內設立通風機，這些靜壓箱連同送（sòng）風管、回風管從而會占據很大（dà）的空（kōng）間，使得維修（xiū）空間變得狹小，有時甚至影響消防通道的使用。
當我們使用FFU時，潔淨室的吊頂將會被分為若幹模塊，每個模塊就是一個（gè）FFU，這樣（yàng）我們可（kě）以（yǐ）通過調節每個模塊來滿（mǎn）足（zú）吊（diào）頂上部送風靜壓箱的壓力平衡的要求，從而（ér）大大降低了對該靜壓箱高度的（de）要求。同時可以省（shěng）去巨大的送風管、回（huí）風管，所以可以節省安裝空間。特別是在改造（zào）工程（chéng）受到層高限製時，FFU可以有效的解決這一問題。
而且FFU尺寸多樣，可（kě）根據潔淨室的實際大小來定製，且正因為這個原因，其占用送風靜壓箱內較（jiào）少的層高，甚至基本上不占用（yòng）潔淨室內空（kōng）間，所以能夠更好地節省空間。
2.FFU靈活性——利用FFU獨立性的結構特點，可隨時（shí）調整，彌補潔淨室機動性能（néng）不足，從而解決了生產工藝不（bú）宜調整的缺點。
潔淨室廠房的維護結（jié）構一般為金屬性板製（zhì）作，一般建成後，布局不能隨意改（gǎi）動，但由（yóu）於生產工藝的不斷更（gèng）新，使得原有的廠房潔淨度布局不能滿（mǎn）足新工藝的需求，導致潔淨室由（yóu）於產品換代需要頻繁的改動（dòng），大量浪費（fèi）財力、物力。
如果通過增減FFU數量的方法，就可以局部調整房間的潔淨度布局，用以（yǐ）滿足工（gōng）藝的改動，而且FFU自帶動力、風口、燈（dēng）具，從而（ér）可以節省大量的投資。這對於通常集中送風的淨化係統來說幾乎是不可能達到同樣效果的。
因為FFU是自帶動力（lì）的，它不受區域的限（xiàn）製。在一個偌大的潔（jié）淨廠房裏，可根據需要，分區控製。而（ér）且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆，而且不會帶來二次投資。
3.減少運行成本——FFU係統節能顯著，從而解決了空調（diào）機房龐大、空調（diào）機組運行費用增高的集中送風的缺（quē）點。
如果麵積較大的潔淨室廠房的個別潔淨間有較高的潔（jié）淨級別的需求，那麽集中送風的空調機組風量較大，風機壓頭（tóu）較高，才能克服（fú）風管管道的阻力以（yǐ）及初效過（guò）濾器，中效過濾（lǜ）器，高效過濾器的阻力，才能滿足需（xū）求（qiú）。而且集中送風係統隻要空調（diào）機出現故障，就會造成這台空（kōng）調機所涉及的全部潔淨室停止運行（háng）。
雖然在前期選（xuǎn）用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在後期運行中（zhōng），突出的表現出節能、免維護等特點（diǎn），使得FFU更受（shòu）歡迎。
4.負壓（yā）密封
這是FFU的獨特特點。由於它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對（duì）於潔淨廠（chǎng）房負壓。因此即使風口安（ān）裝存在泄漏，也是潔淨室向靜壓箱（xiāng）泄漏，不會形成（chéng）對潔淨室的汙染。使得密封變得很簡單（dān）而且安全。
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